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蒸發舟的使用材料及排列方式
- 2022-07-19-

  一、蒸發舟使用的材料

  蒸發舟作為真空鍍膜的蒸發源,其材料必須耐高溫、耐金屬溶液腐蝕、抗熱震性強、導熱并具有一定的機械強度?;谏鲜鲆?,通過查閱相關文獻,發現作為蒸發舟材料的主要有碳石墨材料和陶瓷材料。

  碳-石墨材料具有以下特點:一,碳材料具有良好的耐高溫性和熱穩定性,超過真空鍍膜所需的溫度,因此穩定可靠。其次,碳雖然是非金屬材料,但導電性好,電阻低。第三,碳石墨材料熱膨脹系數低,抗熱震性好,高溫使用時尺寸穩定性好,溫度變化大時不易破碎。第四,與其他材料相比,碳石墨材料具有良好的化學穩定性。但它是一種多孔材料,孔隙率在10%-30%左右。在鍍膜過程中,蒸發舟容易斷裂,導致電流無法通過,從而影響生產。

  BN具有較高的熱穩定性、化學穩定性和電絕緣性,還具有熱導率高、介電性能好、產品易加工、熔點高等特點。與TiB2復合可以提高材料的熱導率,獲得合適的電阻率和電阻溫度系數。

  二、蒸發舟的排列方式

  主要有直線排列和交錯排列兩種。采用直線排列時,由于電接觸和熱傳導不良的問題,蒸發舟在加熱過程中會在夾片內膨脹移動,容易導致蒸發過程不穩定。通過使用交錯的蒸發舟系統,每個蒸發舟的蒸汽云相互支撐,即使在高速鍍膜中,仍然可以實現高均勻性。

  三、蒸發舟的溫度控制

  控制蒸發舟溫度的主要目的是滿足鋁層厚度的要求,以理想的鍍膜速度生產出厚度均勻的鋁膜,延長蒸發舟的使用壽命。為了使蒸發的鋁量大化,應盡可能使用蒸發舟的整個罐表面。在不同的溫度下,鋁熔池表面有三種情況。

  首先是蒸發舟內有大的鋁熔池,鋁在蒸發槽內不會流到蒸發舟末端或超出側面,所以鋁膜的均勻性更好。二是蒸發舟工作溫度過高,導致鋁熔池減少。在這種情況下,為了維持鍍膜速度,這個小區域的鋁蒸發速率會增加,蒸發舟的使用壽命也會因為高溫而降低,同時鍍膜的均勻性變差。第三是蒸發舟溫度過低,鋁會溢出蒸發槽,導致鋁層均勻性變差,甚至出現鋁的飛濺。

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